其利用聚焦的很窄的高能電子束來(lái)掃描樣品, 通過(guò)光束與物質(zhì)間的相互作用, 來(lái)激發(fā)各種物理信息, 對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質(zhì)微觀(guān)形貌表征的目的。分辨率可以達到1nm;放大倍數可以達到30萬(wàn)倍及以上連續可調;并且景深大, 視野大, 成像立體效果好。此外, 掃描電子顯微鏡和其他分析儀器相結合, 可以做到觀(guān)察微觀(guān)形貌的同時(shí)進(jìn)行物質(zhì)微區成分分析